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多晶硅生产中产生的废气用什么设备处理
作者:景蓝环保  发布时间:2018-07-10  浏览次数:260

多晶硅的生产过程中会产生一定量的废气和残夜,这些废气和残夜必须要经过处理才能进行排放,不然就违反了环境保护法。到底是用什么设备处理呢?下面一起来看看。


多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料,随着我国太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。目前,多晶硅工艺技术空前活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率,在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。


废气和残液的处理:在多晶硅制备中有大量的废气和废液产生,国内多数单位通常先用水洗水解,然后通过NaOH中和废气处理和残液处理工序。


废气净化:氯硅烷分离提纯工序各精馏塔顶排放的含氯硅烷、氮气的废气,及含氯硅烷、氢气、氮气、氯化氢的多晶硅还原炉置换吹扫气和多晶硅还原炉事故排放气等,被送进尾气洗涤塔组,用水(盐酸溶液)洗涤,废气中的氯硅烷与水发生以下反应而被除去:

SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2

SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl

SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2


出尾气处理塔顶含有氮气和氢气的废气经液封罐放空,出尾气处理塔塔底含有SiO2固体的盐酸溶液用泵送入工艺废料处理工序。

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